Bosh sahifa - Bilim - Batafsil

Mikroelektronik komponentlarni elektrokaplama uchun elektrolitlar haroratini saqlashda PTFE immersion isitgichlar qanday rol o'ynaydi?

Kremniy chip o'z idishiga qizdirilgan, ultra-toza qoplama eritmasidan atom-bo'lib-hosil qilingan mayda oltin shpiklar orqali biriktirilgan. Korroziyaga uchragan metall qismdan chiqarilgan temirning bitta zarrasi konning morfologiyasini o'zgartirishi, aloqa aloqasini zaiflashtirishi yoki mahkam o'ralgan sxemada elektr nuqsonini keltirib chiqarishi mumkin. Orqa fonda murakkab yarimo'tkazgichli qoplama liniyalari atom darajasida termal barqarorlik va kimyoviy tozalikni ta'minlash uchun PTFE immersion isitgichlar bilan jim ishlaydi.

Mikroelektronika ishlab chiqarishda elektrolitlar harorati shunchaki jarayon o'zgaruvchisi emas. U darhol cho'kish tezligiga, don tuzilishiga, joriy samaradorlikka, ichki stressga va sirt morfologiyasiga ta'sir qiladi. Shunday qilib, PTFE suvga cho'mdiruvchi isitgichlar gofretni urish, MEMS ishlab chiqarish, substratni abraziv qilish va ilg'or yarimo'tkazgichlarni qadoqlash jarayonlari uchun asosiy texnologiyaga aylandi, bu erda ifloslanishga chidamlilik milliardga qism bilan baholanadi.

Mikroelektron elektrokaplamaning termal talablari
Elektrokaplama usullari zamonaviy yarimo'tkazgichli qadoqlashda gofretlar, qo'rg'oshin ramkalar va yuqori{0}}zichlikdagi substratlarda o'tkazuvchan yo'llar va o'zaro bog'lovchi tuzilmalarni ishlab chiqarish uchun sezilarli darajada qo'llaniladi.

Umumiy qoplama kimyolari

Oltin siyanid eritmalari

Oltin sulfitli vannalar

Mis bilan qoplangan kislotali vannalar

Elektrolitlar Qalay va qalay-kumush

Maxsus nikel va palladiy formulalari

Ushbu tizimlarning aksariyati odatda 30 dan 60 darajagacha bo'lgan juda tor haroratli oynalarda ishlaydi. Kichik termal o'zgarishlar cho'kma kinetikasini o'zgartirishi va mayda tuzilmalar bo'ylab qoplamaning bir xilligiga ta'sir qilishi mumkin.

Masalan, gofretli qadoqlashda elektrolitlar haroratidagi kichik o'zgarishlar quyidagilarga ta'sir qilishi mumkin:

To'p balandligining mustahkamligi

Mis donalarini tozalash

Chiqish kuchi

Hozirgi tarqatish

Depozitning qattiqligi

Bo'shliqlarning shakllanishi

Yopishqoqlik sifati

PTFE isitgich mikroelektronli elektrokaplama haroratni nazorat qilish tizimining funktsiyasi qurilmaning ishonchliligi va ishlab chiqarish rentabelligi bilan bog'liq.

PTFE: yarimo'tkazgichli qoplamali vannalar uchun afzal qilingan material
Mikroelektron elektrokaplama vannalari ifloslanishga juda sezgir. Jarayon uskunasidan metall ifloslantiruvchi moddalar vannaning kimyoviy tarkibini buzishi va tartibga solinadigan cho'kma reaktsiyalariga xalaqit berishi mumkin.

PTFE suvga cho'mdiruvchi isitgichlar mashhur tanlovdir, chunki PTFE turli xil qattiq qoplama kimyoviy moddalariga kimyoviy jihatdan inertdir. Odatiy ish sharoitida korroziyaga uchragan yoki elektrolitda eriydigan metall isitish yuzalaridan farqli o'laroq, PTFE bunday qilmaydi.

Bu xususiyat ayniqsa quyidagilar uchun zarurdir:

Tizimlarni oltin-qoplash.

Ultra past ifloslanishli mis vannalar

Nozik{0}}qadamli lehim bilan urish texnologiyasi

MEMS ishlab chiqarish uskunalari

Gofretli ishlab chiqarishda qoplamali isitgich nafaqat issiqlik manbai, balki ultra-toza kimyoviy uskuna hamdir.

PTFE gilzasi ichki isitish elementi va elektrolitlar o'rtasida to'g'ridan-to'g'ri aloqa qilishni oldini oladi, vannani zaharlashi yoki qoplamaning harakatiga ta'sir qilishi mumkin bo'lgan erigan metall ionlarining chiqishini oldini oladi.

Vannadan zaharlanish va depozit kamchiliklarining oldini olish.
Yarimo'tkazgichli elektrokaplama eritmalaridagi metall aralashmalar ko'pincha milliard diapazondagi qismlarda juda qattiq ifloslanish darajasiga qadar nazorat qilinadi.

Ushbu konsentratsiyalarda hatto iz ifloslanishi ham ta'sir qilishi mumkin:

Orientatsiya kristallografik

Stressli depozitlar

Don morfologiyasi

Yuzaki tekstura

Elektr o'tkazuvchanligi

Lehimlash qobiliyati

Qattiq elektrolitlar kimyosiga duchor bo'lgan an'anaviy metall qoplamali isitgich vannaga temir, nikel, xrom yoki boshqa metall turlarini sekin sur'atda yuvishi mumkin. Ushbu ifloslantiruvchi moddalar to'g'ridan-to'g'ri qoplangan tuzilmalarga qo'shilishi mumkin.

PTFE dan tayyorlangan immersion isitgichlar bu xavfni kamaytiradi, chunki namlangan sirt kimyoviy jihatdan inert va eritmadan elektr izolyatsiyalangan.

Ushbu ifloslanish qarshiligi ko'plab hayotiy muammolarni oldini olishga yordam beradi:

O'zgartirilgan qoplama stavkalari
Metall aralashmalar elektro{0}}kimyoviy kinetikaga va qo'shimchalar unumdorligiga ta'sir qilishi mumkin, natijada gofret yoki substratda-bir xil bo'lmagan cho'kish tezligi kuzatiladi.

Buzilgan konlarning morfologiyasi
Izli aralashmalar kristallarning rivojlanishiga xalaqit berishi mumkin, bu esa qo'pol konlar, dendritik o'sish yoki tugun shakllanishiga olib keladi.

Obligatsiyaning yaxlitligi pasaygan
Flip chipli qadoqlash va gofretni burish ilovalarida mavjud bo'lgan ifloslantiruvchi moddalar lehimning qayta oqimi yoki intermetalik shakllanishiga ta'sir qilishi mumkin.

Elektr ishonchliligidagi nosozliklar
Issiqlik aylanishi sharoitida yuqori zichlikdagi kontaktlarning zanglashiga olib keladigan kichik o'tkazuvchan nosozliklar oqish kanallari yoki qisqa tutashuvlarga aylanishi mumkin.

Zarrachalar hosil bo'lishini minimallashtirish uchun silliq PTFE sirtlari
Qopqoq yuzasining silliq,{0}}yopishmaydigan xususiyati PTFE suv isitgichlarining yana bir muhim afzalligi hisoblanadi.

Mikroelektronika elektrokaplama tizimlari ultra past zarrachalar sonini talab qiladi. Vannadan o'tadigan har qanday metall bo'lak yoki parchalanish cho'kindi nano o'lchamli qurilma tuzilmalarida ushlanishi mumkin.

Silliq PTFE yuzasi quyidagilarni oldini oladi:

Metall tugunning yopishishi

Masshtabni shakllantirish

Kristalli qoplama-to'planishi

Zarrachalarni ushlab turish

Isitgich yuzasida cho'kindilarning to'planishining kamayishi tufayli isituvchi sirtdan parchalar tushishi va texnologik vannani ifloslantirish xavfi sezilarli darajada kamayadi.

Bu, ayniqsa, quyidagilar uchun zarur:

Nozik chiziqni qayta taqsimlash qatlami qoplamasi

Silikon yo'llarni qayta ishlash orqali

MEMS bo'shlig'ini yaratish

Kengaytirilgan substrat metallizatsiyasi

Elektr izolyatsiyasi va adashgan oqimlarning oldini olish
Elektrokaplama tizimlari metallning bir xil yotqizilishini ta'minlash uchun aniq elektr maydonini boshqarishdan foydalanadi.

Vanna ichidagi har qanday tasodifiy o'tkazuvchan kanal mahalliy oqim zichligi taqsimotini buzishi va qoplamaning bir xilligiga ta'sir qilishi mumkin.

PTFE suvga cho'mdiruvchi isitgichlar yuqori dielektrik izolyatsiyasiga ega, chunki PTFE elektr o'tkazmaydigan-. Isitgich g'ilofi isitish elementining qoplamali hammom bilan mos bo'lmagan tarzda elektr ta'sirini oldini oladi.

Isitgichning ho'llangan yuzasi, shuningdek, tizim dizayni talablariga qarab elektroforetik neytral yoki mos ravishda erga ulangan bo'lishi kerak. Yaxshi elektr integratsiyasi nozik elektrokimyoviy jarayonlarni buzishi mumkin bo'lgan adashgan oqimning shovqinini oldini oladi.

Ushbu elektr ajratish quyidagilarga xizmat qiladi:

Barqaror qoplamali maydonlar

Yagona yotqizish profili

Minimallashtirilgan chekka effektlar

Yaxshilangan xususiyat toʻldirish

Jarayonning takrorlanishi yaxshilandi

To'g'ri elektrokaplama uchun termal barqarorlik
Issiqlik barqarorligi, ayniqsa, yarimo'tkazgichli qadoqlashda juda muhim, chunki cho'kma kimyosi ko'pincha qattiq ideal jarayon oynalari yaqinida joylashgan.

Barqaror termal profil:

Xuddi shu elektrolitlar yopishqoqligi

Qo'shimcha xatti-harakatni oldindan aytish mumkin

Ionlarning bir xil harakatchanligi

Boshqariladigan katodning samaradorligi

PTFE immersion isitgichlar ishlab chiqarish jarayonida qattiq jarayon barqarorligini ta'minlash uchun ko'pincha yuqori aniqlikdagi harorat regulyatorlari va resirkulyatsiya tizimlari bilan birlashtiriladi.

PTFE ning kuchli kislotalar va qoplama qo'shimchalariga chidamliligi kimyoviy jihatdan talabchan sharoitlarda uzoq-muddatli issiqlik barqarorligini kafolatlaydi.

Poklik eslatmasi
Tozalash va passivatsiyaga bo'lgan ehtiyoj
Yarimo'tkazgichli elektrokaplama tizimlaridagi barcha namlangan komponentlar odatda passivlashtiriladi va o'rnatishdan oldin yaxshilab tozalanadi.

Ushbu tayyorgarlik jarayoni quyidagilarni o'z ichiga olishi mumkin:

Ultra-Sof suv bilan yuvish

Kimyoviy tozalash

Kislota passivatsiyasi

Zarrachalarni olib tashlashni tekshirish

Toza xona{0}}da ishlash texnikasi

Yarimo'tkazgichli ilovalarda ishlatiladigan PTFE cho'milish isitgichlari organik qoldiqlarni, ionli ifloslanishni va zarrachalarning shakllanishini kamaytirish uchun qoplama muhitiga kirishdan oldin tez-tez tozalanadi va qadoqlanadi.

Hatto kimyoviy jihatdan chidamli materiallarda ham, agar to'g'ri tayyorlanmagan bo'lsa, ultra-sezgir elektrokaplama kimyosini buzadigan aralashmalar bo'lishi mumkin.

Gofret va MEMS ishlab chiqarish uchun PTFE isitgichlar
Elektrokaplama shartlari gofretni urish texnikasida chiplarni birlashtiradigan kichik lehim yoki mis konstruksiyalarni qurish uchun juda muhimdir.

MEMS ishlab chiqarishda elektroformatsiyalangan metall konstruktsiyalar ham keng tarqalgan bo'lib, ular juda tartibga solinadigan cho'kma sozlamalarini talab qiladi.

Ushbu ilovalar quyidagilarni ta'minlash uchun PTFE suv isitgichlaridan foydalanadi:

Elektrolitlar harorati teng taqsimlanadi

Uzoq muddatli kimyoviy barqarorlik

ISITISH ISHLATILMAYDI

Jarayonning takrorlanishi

Qurilmaning geometriyalari yanada qisqarishi va o'zaro bog'lanishlar zichligi oshishi bilan termal va kimyoviy tozalik mezonlari tobora kuchayib bormoqda.

Shu sababli, murakkab yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda barqaror, metall{0}}bo'sh isitishga bo'lgan ehtiyoj ortib bormoqda.

Xulosa
PTFE immersion isitgichlar mikroelektronika ishlab chiqarish ta'minot zanjirida muhim, ammo ko'rinmas bo'g'indir. Ushbu tizimlar kimyoviy jihatdan inert, elektr bilan ajratilgan va ifloslanishga chidamli isitishni taklif etadi, bu esa gofretning zarbasi, MEMS ishlab chiqarish va ilg'or yarimo'tkazgichli qadoqlash uchun zarur bo'lgan ultra toza elektrolitlar sharoitini saqlashga yordam beradi.

PTFE isitgich mikroelektron elektrokaplama haroratni boshqarishning roli vannani isitishdan sezilarli darajada ko'proq. To'g'ri issiqlik nazorati izchil qoplama uchun muhim ahamiyatga ega, vannadan zaharlanishning oldini oladi, zarrachalar ishlab chiqarishni kamaytiradi va bugungi elektron asboblar talab qiladigan atomik tozalik darajasiga erishishga yordam beradi.

Har bir zamonaviy protsessor, sensor va yuqori{0}}zichlikdagi paket qattiq nazorat qilinadigan elektrokimyoviy jarayon bilan ta'minlanadi. Oxir-oqibat, eng yuqori texnologiya - bu sof isitish.

 

So'rov yuborish

Sizga ham yoqishi mumkin