Plazma yaxshilangan plazmada qanday gazlardan foydalanish mumkin?

Reaktiv gazlar:
Silman (SIH ↑): Amorfous kremniy, mikrokriylik oksidi (si n ₄), kremniy oksidi (SiO ₂) kabi ingichka filmlar.
Ammiak gazi (NH3): tez-tez kremniy nitrid plyonkalarini depozit qilish va azot manbai bilan birgalikda qo'llaniladi.
Azot (n h ln): tashuvchi gaz yoki evropa gazi sifatida ishlatilishi mumkin va Silikon Nitrid kabi ingichka piramlarning reaktsiyasida ham qatnashishi mumkin.
Azazli oksidi (n ₂ o) yoki kislorod (o ₂): kremniy oksidi filmlarini kondan etishtirish va kislorod manbaini ta'minlash uchun ishlatiladi.
Metan (CH ₄) yoki boshqa uglevodorodlar: uglerod (DLC) filmlari kabi olmos va- kabi uglerodli filmlarni depozit qilish uchun ishlatiladi.

Inert gaz (tashuvchi gaz / evropa gaz):
Argon (Ar): Plazmani barqarorlashtirish va reaktsiya gazining qisman bosimini tartibga solish uchun odatda tashuvchi gaz yoki evropa gazi sifatida ishlatiladi.
Geliy (u): u tashuvchi gaz sifatida ham ishlatilishi mumkin va bu reaktsiya haroratini boshqarishga yordam beradigan yuqori issiqlik o'tkazuvchanligiga ega.

Doping gaz:
Fosfin (ph a): n - turini tayyorlash uchun ishlatiladigan doping ingichka plyonkalarni tayyorlash.
Borane (b ₂ h ₆): p - turdagi doping va p - turdagi yarim seyyubry ingichka plyonkalarni tayyorlash uchun ishlatiladi.
Boron trifluorid (bf a): AP - turdagi doping manbai sifatida ham ishlatilishi mumkin.

Boshqa maxsus gazlar:
Vodorod (H ↑): Tuproq plyonkalarining cho'kish tezligi va xususiyatlarini tartibga solish uchun qisqarish reaktsiyalarida yoki Silman bilan birgalikda qo'llaniladi.
Oltingugurt hexafluorid (SF ↓): Etchlash yoki sirtni davolash uchun ma'lum bir jarayonlarda ishlatiladi.

Gazni tanlashda ta'sir qiluvchi omillar:
Film turi: O'rnatilgan plyonka materiallari (SiO ₂, Si a n ₄, DLC va boshqalar kabi tegishli reaktiv gazni tanlang).
Doping talablari: p - turini yoki n - Turnyorlik ingichka plyonkalarni tayyorlash uchun ingichka plyonkalar, mos keladigan doping gazlari joriy qilinishi kerak.
Jarayon sharoitlari: Gaz oqimi, nisbati, va bosim yamoq tezligiga, sifatli va ingichka plyonkalarga ta'sir qilishi mumkin.
Xavfsizlik: Silman va fosfor kabi ma'lum gazlar yonadigan, portlovchi yoki toksik bo'lib, xavfsizlik choralariga qat'iy rioya qilishni talab qiladi.

Amaliy qo'llanma misol:
Silikal Nitridning yupqa plyonkasini yog ': Odatda, Silman (SIH ₄) va ammiak (NH3), ba'zan azot (n ↑) yoki Argon (Ar) qo'shilmoqda.
Silikon oksidi oksidi yupqa plyonkalarni yostiqqa tushirish: Odatda, Silman (SIH ↑) va azot oksidi (n ₂ o) yoki kislorod (o ₂) joriy etiladi.
DLC plyonkasini yotqizish: Odatda, metan (CH ₄) va vodorod (H uzogen (H usi) joriy qilingan va ba'zida Argon (Ar) tashuvchi gaz sifatida qo'shiladi.