Vakuumli kumush qoplama plyonkasining bir xil bo'lmasligi muammosi

Vakuumli kumush qoplama plyonkasining bir xil bo'lmasligi muammosi

Birinchidan, nisbatan bir xil fazoviy magnit maydon hosil qilish uchun magnit maydonning bir xilligi va yo'nalishining mustahkamligini ta'minlashga harakat qiling.

Ikkinchidan, imkon qadar yuqoriga va pastga havo bosimining bir xilligini ta'minlash kerak. Vakuum kamerasini loyihalashda vakuum nasosining o'rnatish holati, texnologik gazning havo olish usuli va kameradagi texnologik gaz quvurining joylashishini hisobga olish kerak.

Uchinchidan, na magnit maydon, na havo bosimi mutlaqo ideal bo'lishi mumkin emasligi sababli, magnit maydonning bir xil bo'lmasligi havo bosimining bir xil bo'lmaganligi bilan qoplanishi mumkin, shuning uchun oxirgi plyonka bir xil bo'ladi.

To'rtinchidan, maqsad-tayanch masofasi ham purkalgan qoplama plyonkasining bir xilligiga ta'sir qiluvchi muhim omil hisoblanadi.

Vakuumli kumush qoplamali magnetronli püskürtmeli bir xil qoplama

Magnitronli purkash qoplama plyonkasining bir xilligi muhim ko'rsatkichdir, shuning uchun magnetronli püskürtme bilan bir xil qoplamani yaxshiroq amalga oshirish uchun magnetronli püskürtme bir xilligiga ta'sir qiluvchi ta'sir etuvchi omillarni o'rganish kerak. Oddiy qilib aytganda, magnetronning chayqalishi ortogonal elektromagnit maydonda bo'ladi, yopiq magnit maydon maqsadli sirt atrofida spiral harakat qilish uchun elektronlarni bog'laydi va harakat paytida u ko'p sonli argon ionlarini ionlash uchun ishlaydigan gaz argoniga doimiy ravishda uriladi, va argon ionlari elektr maydonining ta'siri ostida. Nishonni bombardimon qilishni tezlashtiring, maqsadli atom ionlarini (yoki molekulalarni) chiqarib tashlang va ularni yupqa plyonka hosil qilish uchun substratga qo'ying. Shuning uchun, bir xil qoplamaga erishish uchun maqsadli atom ionlarini (yoki molekulalarni) bir xilda püskürtmek kerak, bu esa nishonni bombardimon qilayotgan argon ionlarini bir xilda bombardimon qilishni talab qiladi. Argon ionlari elektr maydoni ta'sirida nishonni bombardimon qilish uchun tezlashtirilganligi sababli, elektr maydoni bir xil bo'lishi kerak. Argon ionlari yopiq magnit maydon bilan bog'langan elektronlardan kelib chiqadi, ular doimiy ravishda to'qnashadi va harakatda hosil bo'ladi, bu bir xil magnit maydon va argon gazining bir xil taqsimlanishini talab qiladi. Biroq, haqiqiy magnetronli püskürtme qurilmasida bu omillarning mutlaqo bir xil bo'lishi qiyin, shuning uchun ularning bir xil bo'lmasligining plyonka hosil bo'lishining bir xilligiga ta'sirini o'rganish kerak. Aslida, magnit maydonning bir xilligi va ishlaydigan gazning bir xilligi plyonka shakllanishining bir xilligiga ta'sir qiluvchi eng muhim omillardir. Magnit maydon katta bo'lgan joyda plyonka qalin, plyonka esa ingichka va magnit maydonning yo'nalishi ham bir xillikka ta'sir qiluvchi muhim omil hisoblanadi. Havo bosimi nuqtai nazaridan, ma'lum havo bosimi sharoitida, havo bosimi yuqori bo'lgan joyda plyonka qalinroq bo'ladi va aksincha, plyonka ingichka bo'ladi.

www.superbheater.com