Yarimo'tkazgichli vakuumli ishlov berish uskunalarida kartrijli isitgichlarning qo'llanilishi

Yarimo'tkazgichlar biznesida ishlov berish qanchalik toza va aniq bo'lishi uchun juda yuqori standartlar mavjud va vakuumli ishlov berish yarimo'tkazgichlarni tayyorlashning muhim qismidir (masalan, gofretni yumshatish, püskürtme, o'rash va qadoqlash). Isitish tizimi yarimo'tkazgichli vakuumli ishlov berish uskunasining eng muhim qismidir, chunki u yarimo'tkazgichli gofretlarning qanchalik yaxshi ishlov berilishini aniqlaydi. Kartrijli isitgichlar hozirda ushbu turdagi uskunalar uchun eng mashhur isitish elementi hisoblanadi, chunki ular tez isitiladi, doimiy ishlaydi va kichikdir. Yarimo'tkazgichli vakuumli ishlov berish uskunasida ishlatiladigan kartrijli isitgichlar nafaqat vakuumli isitishning asosiy ehtiyojlarini qondirishi kerak, balki ular yarimo'tkazgich sanoatining yuqori aniqlik, tozalik va barqarorlik ehtiyojlarini ham qondirishi kerak.

Yarimo'tkazgichli vakuumli ishlov berish uskunalari, masalan, vakuumli tozalash pechlari, purkash uskunalari va qirqish uskunalari odatda yuqori-vakuum (10^-4 Pa dan yuqori) va yuqori haroratli (300-1200 daraja) muhitlarda ishlaydi. Isitish tizimi haroratni ± 0,5 daraja ichida ushlab turishi kerak. Buning sababi shundaki, yarimo'tkazgichli gofretlarning elektr ishlashi haroratga ayniqsa sezgir. Hatto haroratning ozgina o'zgarishi ham doping kontsentratsiyasining notekisligi, kristall nuqsonlari va yarimo'tkazgich chiplarining sifati va hosildorligiga ta'sir qiluvchi boshqa muammolar kabi qiyinchiliklarga olib kelishi mumkin. Kartrijli isitgichlar bu yuqori standartlarga erishishi mumkin, chunki ular harorat va isitishni bir tekisda boshqarishda juda yaxshi.


Kartrijli isitgichlar yarimo'tkazgichli gofretlar uchun vakuumli tavlanadigan pechlarning asosiy isitish qismidir. Kristall kamchiliklaridan xalos bo'lish va gofretning elektr bilan yaxshi ishlashi uchun vakuumli tavlanish jarayoni yarimo'tkazgichli gofretni ma'lum bir haroratga (odatda 600–1000 daraja) yuqori-vakuumli muhitda qizdirilishi va u erda ma'lum vaqt davomida saqlanishini talab qiladi. Bunday holda, kartrijli isitgichlar odatda juda toza va juda zich MgO izolyatsion plomba bilan Inconel g'ilofli kartrijli isitgichlardir. Inconel qobig'i yuqori haroratlarda juda barqaror va korroziyaga chidamli, ya'ni yuqori haroratli vakuum sharoitida oksidlanmaydi va ifloslanmaydi. Yuqori{8}}zichlikdagi MgO plomba moddasi issiqlikning bir tekis o'tkazilishini va izolyatsiyaning yaxshi ishlashini ta'minlaydi, shuning uchun gofret bir joyda juda qizib ketmaydi.

Shuningdek, vakuumli tavlanadigan pechlarda kartrijli isitgichlarni o'rnatish usuli juda aniq. Tajribaga asoslanib, kartrijli isitgichlar o'choq devoriga, pastki va yuqori qismiga qattiq va bir tekis o'rnatiladi. Har bir kartrijli isitgich o'z harorat sensoriga ega. Haroratni nazorat qilish tizimi har bir kartrij isitgichining quvvatini real vaqtda o'zgartirish uchun ko'p zonali haroratni boshqarish algoritmidan foydalanadi. Bu o'choq kamerasidagi haroratni ± 0,5 daraja ichida ushlab turadi. Bundan tashqari, issiqlik radiatsiyasining bir-biriga xalaqit bermasligi va issiqlikning bir tekis taqsimlanishiga ishonch hosil qilish uchun har bir patron isitgichi o'rtasida 5 dan 10 mm gacha bo'sh joy mavjud. Kartrijli isitgichlarning uzunligi va diametri o'choq kamerasi va yarimo'tkazgichli gofretning o'lchamiga mos ravishda moslashtiriladi. 12 dyuymli gofretli pechlar kabi-katta hajmdagi gofretni qayta ishlash uskunalari uchun yetarlicha isitish quvvati va hatto isitish mavjudligiga ishonch hosil qilish uchun uzunroq va qalinroq kartrijli isitgichlar ishlatiladi.

Kartrijli isitgichlar yarimo'tkazgichli püskürtme mashinalarida nishon va substratni isitish uchun ishlatiladi. To'kilgan plyonkaning yopishishini va plyonka qalinligining bir xilligini yaxshilash uchun maqsad va substrat yuqori-vakuumli muhitda ma'lum bir haroratga (odatda 300 dan 600 darajagacha) qizdirilishi kerak. Bu holda kartrijli isitgichlar odatda 5–7 Vt/sm² quvvatga ega bo'lgan zanglamaydigan po'latdan yasalgan qobiqli kartridj isitgichlardir (316L). 316L zanglamaydigan po'latdan yasalgan qobiq korroziyaga chidamli va püskürtme uskunasining inert gaz muhiti, jumladan argon bilan ishlashi mumkin. O'rtacha quvvat zichligi maqsad va substratning biron bir joyda juda qizib ketmasdan tezda isishiga ishonch hosil qiladi.

Odamlar ko'pincha kartrijli isitgichlarni maqsadli ushlagichga va substrat ushlagichidagi püskürtme mashinalariga qo'yishadi, bu erda ular issiqlik uzatishni yanada samarali qilish uchun maqsad va substratga juda yaqin joylashgan. Yuqori{1}}haroratga-bardoshli keramik izolyatorlar va metall muhrlangan halqalar kartridj isitgichining qo'rg'oshin qismini-yopib turadi. Bu püskürtme kamerasining vakuumini qattiq ushlab turadi va inert gazning sizib chiqishini to'xtatadi. Bundan tashqari, kartrijli isitgichlarda haddan tashqari issiqlikdan himoya qiluvchi komponentlar mavjud. Agar harorat oldindan belgilangan qiymatdan oshsa, maqsad, substrat va püskürtme uskunasini saqlab qolish uchun quvvat manbai o'z vaqtida o'chiriladi.

Yarimo'tkazgichli vakuumli ishlov berish uskunasida ishlatiladigan kartrijli isitgichlar yarimo'tkazgich sanoatining qat'iy tozalik standartlariga mos kelishi kerak. Chang, yog 'dog'lari va boshqa ifloslantiruvchi moddalar yarimo'tkazgichli gofretdan tushmasligi va ifloslanishiga yo'l qo'ymaslik uchun g'ilof yuzasini silliqlash va tozalash kerak. Yuqori haroratli vakuum sharoitida uchuvchanlik va ifloslanishni minimallashtirish uchun MgO izolyatsiyalovchi plomba juda toza bo'lishi va og'ir metallar kabi xavfli ifloslantiruvchi moddalarni o'z ichiga olmaydi. Bundan tashqari, kartrijli isitgichlar yarimo'tkazgich sanoati standartlariga javob berishiga ishonch hosil qilish uchun zavoddan chiqishdan oldin jiddiy tozalik sinovlaridan o'tishi kerak.

Ultrium isitgich ham vaqt o'tishi bilan barqaror bo'lishi kerak. Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunasi doimo (kuniga 24 soat, haftada 7 kun) ishlayotganligi sababli, kartrijli isitgich uzoq vaqt (8000 soatdan ortiq) davom etishi va doimiy ishlashi kerak. Yarimo'tkazgichli vakuumli ishlov berish uskunasida ishlatiladigan kartrijli isitgichlar odatda yuqori-sifatli materiallardan qurilgan bo'lib, ular tez-tez almashtirib turishga hojat qoldirmasdan uzoq vaqt yaxshi ishlashiga ishonch hosil qilish uchun ko'plab sinov va dizayn ishlaridan o'tadi. G'ilof yuzasini muntazam tozalash va kartrijli isitgichlarning izolyatsiyalash samaradorligini kuzatish ularning uzoqroq xizmat qilishiga va yarimo'tkazgich ishlab chiqarishni davom ettirishga yordam beradi.

Muxtasar qilib aytganda, kartrijli isitgichlar yarimo'tkazgichli vakuumli ishlov berish uskunasining muhim qismidir va ularning ishlashi yarimo'tkazgichli gofretlarning sifati va rentabelligiga bevosita ta'sir qiladi. Kartrijli isitgichlar yarimo'tkazgichlar sektori uchun juda mos keladi, chunki ular haroratni juda aniq boshqarishi, bir tekis isitish, ishonchli ishlashi va juda toza bo'lishi mumkin. Har xil turdagi yarimo'tkazgichli vakuumli ishlov berish uskunalari, masalan, tavlanadigan pechlar va püskürtme uskunalari, har xil turdagi kartrijli isitgichlarga muhtoj. Professional moslashtirish va texnik yordam yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchilariga eng yaxshi kartrijli isitgichlarni tanlashga yordam beradi, uskunaning uzluksiz ishlashini ta'minlaydi va yarimo'tkazgich mahsulotlarini yaxshiroq qiladi.