Sochiqni isituvchi elektron nurli generatorning afzalliklari quyidagilardan iborat:

①Elektron nurning joriy qiymatini boshqarish Ie isitish quvvatini oson va tez o'zgartirishi mumkin; ②Elektromagnit linzalardan foydalanib, isitiladigan qismni erkin o'zgartirish yoki elektron nur bilan bombardimon qilingan qismning maydonini erkin sozlash mumkin; ③Quvvat zichligi qizdirilgan qismni oshirish uchun oshirilishi mumkin. Bombardimon nuqtasidagi material bir zumda bug'lanadi.