Sensorini miniatsionlashtirish va chip texnologiyasi

Mikro elektromexanika tizimi (MEMS) mikro-mexanizmlar, mikro-aktsiyalar, ishlov berish, interfeyslar, ishlov berish, o'lchash, o'lchash va boshqarish texnologiyasidir.

Mems Technology: Silikon mikrosambachizing texnologiyasi, chuqur reaktiv ion, molekulyar yig'ish texnologiyasi, katta mikrofonlashtirish, mikrofizatsiyalash, mikro-qadoqlash texnologiyasi.

Silikon Micracyner Technology Coms ning asosiy texnologiyaidir. Bu uch o'lchovli qayta ishlash texnologiyasi. Bu sensorlar, mikro aktsiyalar, mikro-harakatlar va mikrokretik tizimlarni ishlab chiqish texnologiyasi. U turli xil mikro-sensorlar va ko'p funktsional sezgir elementli massivlar ishlab chiqarish uchun muvaffaqiyatli foydalanilmoqda. Mikro-kremniyning yonbag'ir dalchilari, aerokosozlik, avtomobilsozlik bosimi va tezlashuv sensorlari, atrof-muhitni muhofaza qilish mikrokryosi va boshqalar kabi mikro-dinamik sezgir va mikro-sensorlar kabi.

Sensorli massivlar va ko'p sezgir parametrli kompozitlarning integratsiya texnologiyasi

Integratsiya ma'lumotlar qayta ishlash, saqlash, ikki tomonlama aloqada va boshqalarning integratsiyasini anglatadi, masalan bosim, statik bosim, harorat uch o'zgaruvchan sensor; havo bosimi, shamol kuchlari, harorat, namlik to'rtta o'zgaruvchan sensor; Micro Silikon kompozitsion strosinaning bosimi va massiv sensori va boshqalar, barcha integratsiya texnologiyalaridan foydalaning. Integratsiya jarayoni va ko'p o'zgaruvchan tarkibiy sensorning mikrolatemasi mikrolatmagi mikroektrotexnika, harorat, havo kuchlari, havo kuchlari, havo kuchlari, havo kuchlari, to'rtta o'zgaruvchan sensor, mikrokreditlardagi mikroiqli shtatlar bosimi.

Sensor integratsiyasining ikki turi mavjud: biri - bu chiziqli sensorni shakllantirish uchun mikro-texnik texnologiyani (masalan, CCD Image sensori kabi) shakllantirish uchun bir nechta sensor modullarini qurish; Ikkinchisi, bir xil kremniy chipida turli xil funktsiyalarga ega bo'lish va bir xil silikon chipida turli xil funktsiyalarni yuqori integratsiyalash, kichik o'lcham va oson kompensatsiya va tuzatish.