Vakuumli elektrokaplama uskunalari uchun o'rta chastotali magnetronli püskürtme maqsadi

Vakuumli elektrokaplama uskunalari uchun o'rta chastotali magnetronli püskürtme maqsadi

Endi oraliq chastotali magnetron püskürtme nishonini qo'shing va maqsadli materialni bombardimon qilish, ko'p miqdordagi maqsadli atomlarni va neytral nishon atomlarini ( yoki molekulalar) ustiga yotqiziladi plyonka substratda hosil bo'ladi, bu o'tmishda tabiiy bug'lanish orqali qayta ishlana olmaydigan plyonkalar turlarini, masalan, titanium qoplama va sirkonium qoplamasini va boshqalarni hal qiladi.

Hozirgi vaqtda alyuminiy-azotli kompozit plyonka odatda vakuum naychasining kino qatlami sifatida ishlatiladi. Butun kino qatlami uchta qatlamga bo'linadi: ichki qatlam, o'rta qatlam va tashqi qatlam, ularning har biri o'z funktsiyasiga ega. , asosiy vazifasi yorug'lik energiyasini yutish va uni issiqlik energiyasiga aylantirishdir; tashqi qatlam - aks ettirishga qarshi qatlam bo'lib, asosiy funktsiya quyosh nurlarining aks etishini kamaytirish va quyosh nurining yutilish tezligini oshirishdir.

Vakuumli elektrokaplama uskunalarini vakuumli trubka bilan qoplash printsipi

Vakuum trubkasi qoplamasining printsipi shundan iboratki, elektronlar elektr maydon ta'sirida substratga tezlashishi va uchishi jarayonida argon atomlari bilan to'qnashadi, ko'p sonli argon ionlari va elektronlarni ionlashtiradi va elektronlar substratga uchadi. Elektr maydoni ta'sirida argon ionlari maqsadli materialning bombardimon qilinishini tezlashtiradi, ko'p miqdordagi maqsadli material atomlarini chiqaradi va neytral maqsadli atomlar (yoki molekulalar) plyonka hosil qilish uchun substratga yotqiziladi.

Ikkilamchi elektronlar tezlanish vaqtida magnit maydonning Loran magnit kuchiga ta'sir qiladi va substratga uchadi va maqsadli sirtga yaqin plazma hududida bog'lanadi. Bu mintaqadagi plazma zichligi juda yuqori va ikkilamchi elektronlar magnit maydon bilan o'ralgan. Maqsadli sirt aylanma harakatda harakat qiladi va elektron juda uzoq harakat yo'liga ega. Harakat paytida u doimiy ravishda argon atomlari bilan to'qnashadi va maqsadli materialni bombardimon qilish uchun ko'p sonli argon ionlarini ionlashtiradi. , maqsaddan uzoqda va nihoyat substratga yotqiziladi.

www.superbheater.com