CVD jarayonlarida trubka pechlaridan foydalanish mumkinmi? - ularning texnik-iqtisodiyotini, cheklovlar va professional echimlarni chuqur tahlil qilish

Kimyoviy bug 'quyish (CVD) materiallar fanlari fanlari va yarimo'tkazgichlar kabi bir sohalarda juda muhim nozik bir texnologik. Haroratli isitish uskunalari, haroratli isitish uskunalari, ularning oddiy tuzilishi, ishlash qulayligi tufayli keng ommalashmoqda. Tez-tez so'raladigan savol: bizning tarozida bizning laboratoriyalarimizda to'g'ridan-to'g'ri CVD eksperimentlari uchun ishlatilishi mumkinmi?

Javob: Ha, lekin qat'iy cheklovlar bilan. Standart trubka pechlari aniq o'zgartirishlar va konfiguratsiyalar bilan asosiy CVD funktsiyalarini amalga oshirishi mumkin, ular hali ham professional CVD tizimlaridan ancha farq qiladi.

I. TUBE pechlari uchun funktsional imkoniyatlar uchun asosiy printsiplar va zarur shart-sharoitlar
CVD texnologiyasining yadrosi yuqori - yuqori - yuqori - haroratning reaktsiyasi hududida (reaktiv gazlar) ning kimyoviy reaktsiyasida substrat yuzasiga qattiq koni hosil qiladi. Quvur pechlari muhrlangan, boshqariladigan, yuqori {{{} {{2} -} harorat muhitini yaratadi, CVD reaktsiyalari uchun zarur shart-sharoitlarni yaratadi.

Biroq, standart naycha uchun CVD uchun vakolatli bo'lish uchun bir nechta asosiy talablar bajarilishi kerak:

Gaz tizimini o'zgartirish: bu eng muhim modifikatsiyadir. Standart truba pechida faqat bitta gaz kirish va bitta gaz rozetkasi bo'lishi mumkin. CVD eksperimentlari bir nechta reaktiv gazlar va tashuvchi gazlarning oqim stavkalari va koeffitsientni aniq nazorat qilishni talab qiladi (masalan AR va N₂). Shu sababli, ommaviy oqim kontroljeri (MFC) va gaz quvurini qo'llab-quvvatlash barqaror va aniq gaz etkazib berishni ta'minlash uchun zarurdir.

Vakuum va muhrlash: Ko'pgina CVD reaktsiyalari aralashmalardan qochish va kino sifatini ta'minlash uchun past yoki o'ziga xos bosimlarni talab qiladi. Tuvbalar pechlari yuqori - yuqori darajadagi ish tizimini (masalan, mexanik nasos kabi) talab qiladi, va ikkala uchida pechning ikkala uchida ham pechning ikkala uchida havo oqimining oldini olish uchun juda ishonchli bo'lishi kerak.

Gazni tozalash uchun tozalash tizimi: CVD Chiqzuloz gazlari zaharli, korroziy yoki portlovchi moddalar va portlash komponentlari (masalan, evaziga olib kirilmagan krem ​​va vodorod xlorid) bo'lishi mumkin. Eksperimental xavfsizlik va atrof-muhitni muhofaza qilishni ta'minlash uchun gazni tozalash uskunalari (masalan, gaz skruber yoki yonish minorasi) ekologik xavfsizlik va atrof-muhitni muhofaza qilish uchun zarurdir.

Tegishli namuna egasi va havo oqimi dizayni: Substrat bir xil plyonkalarni tekislash uchun eng maqbul gaz oqimida ekanligini ta'minlash uchun ajratilgan namuna egasi talab qilinadi.

II. Quvur pechlari CVD eksperimentlarining cheklanishi
Ushbu funktsiyalarga modifikatsiyadan so'ng erishish mumkin bo'lsa-da, CVD uchun naychadan foydalangan holda, eng katta cheklovlar mavjud:

Filmlarning bir xilligini nazorat qilishda qiyinchilik: naycha pechlari odatda statik isitishni va reaktiv gazlarni uzoq metraj naychaida aks ettiradi. Bu osonlikcha harorat, bosim va gaz kontsentratsiyasiga olib kelishi mumkin, plyonka qalinligi va kompozitsion bir tekislikka ta'sir qiladi.

Cheklangan jarayonning murakkabligi: murakkab ko'p - tezkor harorat (RTT) va pulsatsiyalangan CVD (pulsatsiyalangan CVD) kabi jarayonlar amalga oshirilishi qiyin.

Xavfsizlik muammolari: yuqori reaktsion va xavfli prekursorlar uchun (masalan, Silman), tuber pechlari tizimining xavfsizlikni muhofaza qilish darajasi odatda CVD uskunalaridan past.

Kam yog 'samaradorligi: katta reaktsiya maydoni tufayli, prekursorlardan foydalanish past bo'lishi mumkin.

III. TUBE pechlari CVD va Belgilangan CVD uskunalari: Qanday tanlash kerak? Xususiyatlar: Mavjudlashtirilgan truba pechlari, professional CVD uskunalari.
Kerakli: asosiy tadqiqot, o'quv namoyishlari, kam filmning pastligi talablari bilan oddiy cho'kma; Sanoat mahsulotlari, yuqori - ijro etish Filmlarni ishlab chiqish va juda yuqori darajada va poklik talablariga ega bo'lgan ilovalar.
Narx: nisbatan past (mavjud uskunalarning modifikatsiyasi); Baland.
Moslashuvchanlik: yaxshi, ko'p {{{- Maqsad (shuningdek yumshatish, sinnatish va boshqalar).
O'ziga xoslik: muayyan jarayonlarga nisbatan optimallashtirilgan.
Jarayonni boshqarish aniqligi: o'rtacha; Yuqori darajadagi, rivojlangan bosim, harorat va gaz oqimi nazorati bilan yuqori aniqlik.
Kino sifati: cheklangan; Zo'r va barqaror.